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面板清洗设备

湿法清洗设备是显示面板(LCD、OLED、Mini/Micro LED)制造中的关键设备,主要用于玻璃基板或柔性基板的清洗、蚀刻、去胶等工艺,去除表面污染物(颗粒、有机物、金属离子等),确保后续成膜、光刻、蚀刻等工序的良率。 其核心目标是通过高精度化学处理实现基板的超洁净表面。