臭氧水系统-系统配套-产品中心-晶创能源

您当前的位置: 首页 >> 产品中心 >> 系统配套 >> 臭氧水系统

臭氧水系统

集约型臭氧水系统，是完全自主研发的高性能臭氧系统。主要应用于氧化膜生长、金属离子去除、有机物去除、半导体晶圆清洗、MASK清洗、液晶清洗以及电池片清洗等。有机物去除，金属残留去除，污染物去除，光刻胶剥离、晶圆清洗、电池片制绒清洗和氧化物生长等。

desc1

desc2

网站首页关于晶创产品中心案例展示新闻中心技术支持联系我们

TOP