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纳米气泡清洗系统

传统清洗方法：包括湿式化学清洗、超声波清洗等，这些方法在去除硅片表面行染物方面具有一定效果，但存在清洗不均匀、易产生二次污染等问题。利用微纳米气泡的独特性质，如高传质效率、强氧化性等，对硅片进行高效、环保的清洗。与传统清洗方法相比，微纳米气泡清洗具有更好的清洗效果和环保性。

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